材料・表面形状測定
材料・表面形状測定
はじめに
材料と表面の形状測定は、材料や表面の物理的特性の研究と分析です。材料や表面の表面粗さ、テクスチャー、その他の特性を測定し、その用途への適合性を評価するために使用されます。この種の分析は、製品開発、品質管理、その他製造やエンジニアリングの分野で重要である。表面粗さ、テクスチャー、その他の特性の測定に加え、材料や表面の厚さ、密度、その他の物理的特性の測定にもプロファイル測定が使用されることがある。
原則
マイクロメートルやナノメートルの分解能を持つ触覚測定や光学測定は、通常、非常に小さな物体のサイズや形状を測定するために使用される。触覚測定ではプローブが対象物に物理的に接触し、光学測定では光によって対象物の画像をとらえる。
触覚測定は、真円度、平面度、同心度、表面粗さなど、表面の特徴や形状を測定するのに最適です。一般的な手法としては、走査型プローブ顕微鏡、原子間力顕微鏡、触針式形状測定法などがある。これらの技術では、対象物の表面上で操作するプローブを使用して、その特徴を測定します。
光学測定は、触覚測定では小さすぎる物体の大きさや形状を測定するのに最適である。一般的な手法としては、干渉顕微鏡、共焦点顕微鏡、光学式形状測定などがある。これらの技術では、光を使って対象物の画像を撮影し、それを処理してサイズや形状を測定することができる。
パラメータ
- 粗さ
- 3Dトポグラフィー/マッピング
- マクロおよびミクロ形状
- 光度
- 多孔性
- 有効接触面積比
トポグラフィのキャラクタリゼーションには、以下の技術機器を使用することができる：
- UST®-万能表面試験機
- トレース
- 高さ測定範囲100 µmの白色光干渉計（表面
- DIN EN ISO 25178に準拠した粗さ特性)
- 共焦点レーザースキャナー（サーフスキャン）
- 触覚式粗さ測定器（プロフィロメーター、DIN EN ISO 4287に準拠した粗さパラメータ）
- 原子間力顕微鏡（AFM）
ビデオ
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